Помимо количественного определения содержания того или иного элемента в данной точке с помощью зонда получали качественные данные о распределении элементов на исследуемой пло­щади сканирования. Одновременно со сканированием регистрирова­лись отраженные электроны. Это позволило получить электронно-оптические изображения поверхности. Для проведения качественного анализа пучок направлялся на исследуемую точку и последователь­но проходил все возможные углы отражения. При этом отмечались всплески интенсивности. Сравнивая их с табличными данными, мож­но найти качественный состав пробы.

Концентрация элемента в пробе определялась по следующей фор­муле [221]:

C=^.-^-FMC(a),

где a, — поправка на атомный номер; F(х)— поправка на поглоще­ние; G(а)— поправка на флуоресценцию; J'aи J_а— интенсивность излучения элемента из пробы и чистого эталона.

Методика определения поправок освещена в работах [220, 221].

При выполнении послойного анализа с целью определения рас­пределения элементов обычно значительные трудности представля­ет изготовление шлифа без нарушения поверхностного слоя. По­этому на образце создавалась защитная оболочка из меди. В начале медь наносилась на рабочую поверхность образца распылением в вакууме, затем защитный слой наращивался электролитическим спо­собом. Покрытие образца медью толщиной 0,02 мм обеспечивало на­дежную защиту поверхностного слоя.

Магнитная восприимчивость металлов измерялась с помощью прибора ИМВ-21. При изучении магнитной восприимчивости чугунов учитывалось, что свойства последних обусловливаются строением металлической основы, а также размерами и распределением графита. Чугуны обладают незначительной остаточной индукцией, малой магнитной проницаемостью и повышенной коэрцитивной силой. Магнитная восприимчивость определялась для чугунов с ферритной и перлитной структурой, которым присущи ферромагнитные свойст­ва. Чугуны с аустенитной основой (нирезист) обладают незначитель­ной магнитной проницаемостью (до 2 Гс/э) и относятся к классу па­рамагнитных материалов. Их магнитная восприимчивость не изме­рялась.